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气相清洗，是采用加热沸点相对较低，易于气化，冷凝，蒸汽密度大，并且不易扩散的溶剂。在清洗槽上方（冷凝管控制下）形成稳定的蒸汽层，相对温度较低的工件与蒸汽接触，在工件表面冷凝成液体，将工件表面所沾附的油脂污垢溶解和冲洗掉，工件的温度不断上升，直到与蒸汽温度接近，蒸汽不再在工件表面冷凝，清洗结束。在这个工程中，工件接触到的始终是纯净的溶剂蒸汽，冷凝出纯净的溶剂液体，可以避免常规清洗中随着工件清洗的进行，清洗液到一定程度后无法保证工件清洁度的现象，可以达到很高的清洗清洁度。
一台完整的气相清洗设备一般是热浸泡，喷洗，冷漂，气相等工序的组合，超声清洗工序可以添加到热浸泡或者能冷漂洗槽中，以增强洗涤作用。
气相清洗机一般需要配合回收机及工业冷水机使用。
气相清洗机的制造成本和使用成本相对较高，制作和使用较为复杂，一般用在有较高清洁度要求的场合。
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